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全自动长轴轮廓仪
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技术参数
| 项目 | 参数 | |
| 测量范围 | X轴最大测量范围 | 1550mm |
| Z1（传感器） | 20mm | |
| Z立柱行程 | 750mm | |
| 测量精度 | X轴示值误差 | ±(2.5+0.002L)μm ※ |
| Z1轴指示精度 | ±(0.5+0.02H)μm ※ | |
| x轴 | 直线度 | 0.8μm /100mm 4um/全长 |
| 分辨率 | 0.5μm | |
| Z1传感器 | 类型 | 光栅传感器 |
| 分辨率 | 0.05μm | |
| 工作台 | Y向调节 | ±10mm |
| 偏摆调节 | ±6° | |
| 升降V型铁范围 | 200mm | |
| 承载 | 750KG | |
| 爬坡角度 | 上升82°，下降89° | |
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| 文件名称 | 文件类型 | 上传日期 | 下载 |
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